Master of Engineering in Microelectronics Manufacturing Engineering

Algemeen

Lees meer over dit programma op de website van de school

Beschrijving van opleiding

39323_39224_colorful_campus_photo.jpg

Lees meer over hoe RIT is het aanpakken van de coronavirus crisis hier

Overzicht

De meesters op het gebied van de fabricage van micro-elektronica behandelen de intensieve aspecten van geïntegreerde circuittechnologie, modellering en simulatietechnieken en praktische laboratoriumverificatie van deze processen. In het laboratorium ontwerpen en fabriceren studenten van verschillende technische en wetenschappelijke achtergronden halfgeleiderschakelingen, leren ze imagingapparatuur gebruiken, ontwikkelen en creëren ze systemen en produceren en testen ze hun eigen geïntegreerde circuits in onze cleanroom. Micro-elektronica productie bij RIT maakt gebruik van veel verschillende disciplines zoals chemie, fysica en engineering om een diploma te leveren dat onze studenten zeer gewild op de arbeidsmarkt maakt.

De ME in micro-elektronica fabricagetechniek biedt een breed opgezette opleiding voor studenten die geïnteresseerd zijn in een carrière in de halfgeleiderindustrie en een bachelordiploma hebben in traditionele engineering of andere wetenschappelijke disciplines.

Programma-uitkomsten

Na het voltooien van het programma kunnen studenten:

  • Ontwerp en begrijp een reeks verwerkingsstappen om een solid-state apparaat te fabriceren om te voldoen aan een reeks geometrische, elektrische en / of verwerkingsparameters.
  • Analyseer experimentele elektrische gegevens van een solid-state apparaat om prestatieparameters te extraheren voor vergelijking met modelleerparameters die worden gebruikt in het apparaatontwerp.
  • Begrijp de huidige lithografische materialen, processen en systemen om te voldoen aan vereisten voor beeldvorming en / of apparaatpatronen.
  • Begrijp de relevantie van een proces of apparaat, voorgesteld of bestaand, voor de huidige fabricagepraktijken.
  • Uitvoeren in een micro-elektronische engineeringomgeving, zoals blijkt uit een stage.
  • Waardeer de specialismen op het gebied van micro-elektronica, zoals apparaatengineering, circuitontwerp, lithografie, materialen en processen, en opbrengst en productie.

Plan van studie

Studenten krijgen het ME-diploma na de succesvolle afronding van 30 studiepunten, die bestaan uit kerncursussen, keuzevakken, onderzoeksseminars en een stage. Onder bepaalde omstandigheden kan van een student vereist worden dat hij brugcursussen voltooit die meer dan het minimumaantal studiepunten bedragen. Studenten voltooien cursussen in micro-elektronica, microlithografie en productie.

Microelectronics

De cursussen micro-elektronica bestrijken de belangrijkste aspecten van technologie voor de productie van geïntegreerde schakelingen, zoals oxidatie, diffusie, ionenimplantatie, chemische dampafzetting, metallisering, plasma-etsen, enz. Deze cursussen leggen de nadruk op modellering en simulatietechnieken, evenals praktische laboratoriumverificatie van deze processen. . Studenten gebruiken speciale softwaretools voor deze processen. In het laboratorium ontwerpen en fabriceren studenten silicium MOS-geïntegreerde schakelingen, leren ze halfgeleiderverwerkingsapparatuur te gebruiken, ontwikkelen en creëren ze een proces en produceren en testen ze hun eigen geïntegreerde schakelingen.

microlithografie

De cursussen microlithografie zijn cursussen voor gevorderden in de scheikunde, natuurkunde en verwerking die betrokken zijn bij microlithografie. Optische lithografie wordt bestudeerd door middel van diffractie-, Fourier- en beeldevaluatietechnieken. Scalaire diffractiemodellen worden gebruikt om luchtfoto-vorming en de invloeden van beeldparameters te simuleren. Positieve en negatieve resist-systemen en processen voor IC-toepassing worden bestudeerd. Geavanceerde onderwerpen zijn onder meer chemisch versterkte resists; meerlaagse resist-systemen; faseverschuivingsmaskers; een elektronenbundel, röntgenfoto en diepe UV-lithografie. Laboratoriumoefeningen omvatten projectiesysteemontwerp, karakterisering van resistmaterialen, procesoptimalisatie en elektronenbundellithografie.

Manufacturing

De productiecursussen bevatten onderwerpen zoals planning, onderhanden werk volgen, kostenberekening, voorraadbeheer, kapitaalbudgettering, productiviteitsmaatregelen en personeelsmanagement. Concepten van kwaliteit en statistische procesbeheersing worden geïntroduceerd. Het laboratorium voor deze cursus is een door studenten gerunde fabriek die functioneert binnen de afdeling. Belangrijke kwesties zoals het meten van de opbrengst, defectdichtheid, het in kaart brengen van wafers, controlekaarten en andere meetinstrumenten voor productie worden onderzocht in hoorcolleges en laboratoriumwerk. Computergeïntegreerde productie wordt ook in detail bestudeerd. Procesmodellering, simulatie, directe besturing, computernetwerken, databasesystemen, koppeling van applicatieprogramma's, facility monitoring, expert-systeemtoepassingen voor diagnose en training, en robotica worden ondersteund door laboratoriumervaringen in de fabriek met geïntegreerde schakelingen. Het programma wordt ook online aangeboden voor ingenieurs die werkzaam zijn in de halfgeleiderindustrie.

Stage

Het programma vereist dat studenten een stage voltooien of een extra keuzevak volgen. De stageoptie omvat een gestructureerde en begeleide werkervaring die studenten in staat stelt werkgerelateerde vaardigheden te verwerven die hen helpen hun gewenste carrièredoelen te bereiken.

Een stage kan op elk moment na de voltooiing van het eerste semester worden gevolgd en kan op verschillende manieren worden ontworpen. Aan het einde van de stage is het overleggen van een definitief stageverslag aan de faculteitsadviseur en programmadirecteur verplicht.

Industries

  • Elektronische en computerhardware
  • Manufacturing
  • Automotive
  • ruimte

leerplan

Micro-elektronica fabricagetechniek, ME-graad, typische cursusreeks

Eerste jaar

  • MCEE-601 Micro-elektronische fabricage
  • MCEE-605 lithografiemateriaal en -processen
  • MCEE-603 Thin Films
  • MCEE-795 Onderzoeksmethoden voor micro-elektronica
  • MCEE-732 Micro-elektronica productie
  • MCEE-602 VLS-procesmodellering
  • MCEE-615-nanolithografiesystemen
  • MCEE-795 Onderzoeksmethoden voor micro-elektronica
  • MCEE-777 Microelectronic Engineering Stage
  • Graduate keuzevakken

39324_39225_real_aerial_of_campus_with_river.jpg

Toelatingseisen

Om in aanmerking te komen voor toelating tot het ME-programma in micro-elektronische fabricagetechnieken, moeten kandidaten voldoen aan de volgende vereisten:

  • Voltooi een afgestudeerde sollicitatie.
  • Houd een baccalaureaatsdiploma (of een equivalent daarvan) aan een geaccrediteerde universiteit of hogeschool in engineering of een gerelateerd vakgebied.
  • Dien officiële transcripties (in het Engels) in van alle eerder afgeronde undergraduate- en graduate-cursussen.
  • Een minimale cumulatieve GPA van 3,0 (of equivalent) hebben.
  • Dien twee aanbevelingsbrieven in uit academische of professionele bronnen.
  • Internationale aanvragers van wie de moedertaal geen Engels is, moeten scores van de TOEFL, IELTS of PTE overleggen. Een minimale TOEFL-score van 79 (op internet gebaseerd) is vereist. Een minimale IELTS-score van 6,5 is vereist. De vereiste score voor de Engelse taal is niet vereist voor moedertaalsprekers van het Engels of voor degenen die transcripties indienen van diploma's behaald aan Amerikaanse instellingen.
  • Kandidaten die een bachelordiploma op niet-elektrische of niet-micro-elektronische gebiedsgebieden aanvragen, kunnen in aanmerking komen voor toelating, maar ze kunnen worden verplicht om aanvullende brugcursussen te volgen om ervoor te zorgen dat ze voldoende voorbereid zijn op hun studie.
Laatst bijgewerkt op May 2020

Over de school

With more than 80 graduate programs in high-paying, in-demand fields and scholarships, assistantships and fellowships available, we invite you to take a closer look at RIT. Don't be fooled by the word ... Lees meer

With more than 80 graduate programs in high-paying, in-demand fields and scholarships, assistantships and fellowships available, we invite you to take a closer look at RIT. Don't be fooled by the word "technology" in our name. At RIT, you will discover a university of artists and designers on the one hand, and scientists, engineers, and business leaders on the other – a collision of the right brain and the left brain. Lees Minder